放大倍率标准样品-光学计量器具

S1000 校准图形放大倍率标准样品-光学计量器具：

S1000 校准图形放大倍率标准样品-光学计量器具：

本标准样品的线距值由德国联邦物理研究所(PTB)使用一台大范围计量型扫描力显微镜(M- LRSFM)进行测量，测量结果可直接溯源至米定义计量基准。各线距结构的测量值分别为：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限为95%，k=2。

测量范围：线间隔结构—（0-50）μm

不确定度/准确度等级：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

> >  特点：

执行GB/T16594和GB/T20307微米和纳米测量的一个不能缺少的精准的度量工具。(1)可用于同时对任意两个垂直方向上的扫描电镜的图像的放大倍率进行检查或校正，是校准从10×~100,000×范围的图像放大倍率的有效的图形标准样品

(2)可用于对图像的X、Y方向上的畸变和边缘的畸变进行校验，是评价扫描电镜图像质量的个重要工具

(3)可直接用于同一量级物体长度的精确比对测量

(4)对样品台倾斜角和电子倾斜以及旋转调整功能的检验也有较好的作用

(5)利用标样上的“点子"图像，可对电子束作漂移检验和样品台复位检验